製造に使えるプロセス

横河ラボで、製造に使えるプロセスは、産総研が開発したTechnology2013をベースにしたPMOS(ALゲート)のメタル2層プロセスと、Technology2018をベースにしたSOI CMOSプロセス(2層メタル、TiNゲート)です。